ឧបករណ៍បញ្ជូនសម្ពាធឆ្លាតវៃ ឧបករណ៍បញ្ជូនសម្ពាធឌីផេរ៉ង់ស្យែល Metal Capacitive Pressure Sensor

ការពិពណ៌នាសង្ខេប៖

សម្ពាធមធ្យមត្រូវបានផ្ទេរទៅ diaphragm សាកល្បងនៅកណ្តាលបន្ទប់ δ ដោយ diaphragm របាំងនិងប្រេង Silicon ដោយសារតែ diaphragm សាកល្បងគឺជាធាតុបត់បែនតឹង វាបង្កើតការផ្លាស់ទីលំនៅតាមឌីផេរ៉ង់ស្យែលសម្ពាធ។ការផ្លាស់ទីលំនៅរបស់ diaphragm និងសម្ពាធឌីផេរ៉ង់ស្យែលគឺនៅក្នុងសមាមាត្រទិសដៅ ការផ្លាស់ទីលំនៅអតិបរមាគឺ 0.1mm វាត្រូវបានសាកល្បងដោយបន្ទះ capacitive នៅសងខាងបន្ទាប់មក capacitor ឌីផេរ៉ង់ស្យែលរវាង diaphragm សាកល្បងនិងបន្ទះ capacitive បានប្តូរទៅជាលទ្ធផលស្តង់ដារដោយ សៀគ្វីចរន្ត។